如何有效的降低真空系統漏氣率的措施

真空系統的結構

真空系統的結構是影響真空系統密封性和系統漏氣率的關鍵，真空系統的結構合理與否，將直接影響系統的密封性和系統的漏氣率。

1、盡可能地避免出現小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

3、認真設計真空室內各種連接件的結構，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

4、打磨拋光真空系統內表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統。

密封形式的選擇

       密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO^-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。

    密封件材質的選用：真空度在lO^-3Pa以下的真空系統，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要（真空室內溫度*高可達2300^oC，密封部位進行水冷后，其溫度在80^oC左右，個別處溫度可達100^oC以上）。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

    用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。