真空泵選擇的注意事項

1.真空泵選擇的原則

在設計真空系統時，首先要正確選擇真空泵的類型，確定真空泵的大小。

2.真空泵類型的選擇

在選擇真空泵的類型時，需要考慮的包括被抽真空室要達到的極限壓強和工作壓強，被抽氣體的種類，和真空泵采購的初始投資與運行中的日常維護費用。

3.真空泵工作壓強范圍的選擇

首先要根據被抽真空室要達到的極限壓強和工作壓強，正確選擇真空泵的工作壓強范圍。

從設計與制造者的角度，每種真空泵都有一定的工作壓強范圍，如：無油渦旋真空泵的工作壓強范圍為大氣～1Pa。在這樣寬的壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而 變化，其穩定的工作壓強范圍為10E4～10Pa。因而，無油渦旋真空泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在大氣下或者1Pa下長期工作。

從用戶的角度看，真空泵的工作壓強應該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強要求，通常選擇真空泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。例如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。

4.真空泵大小的選擇

選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據兩點：

首先根據被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內的*大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和*佳抽速壓強范圍，真空室內壓強要在泵的*佳抽速壓強范圍內。

其次還要根據真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。

另外真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。但大部分工作壓強是單獨一種真空泵所不能達到的。有的真空泵不能在大氣壓下工 作，需要預抽真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組，以滿足工作要求。

例如半導體行業真空室體積較大，要求真空室內工作環境清潔無油，抽氣時間盡量短、以提高工作效率。這時抽速為15～60立方米/小時（4～16升/秒） 的無油渦旋真空泵，可以與羅茨泵組成無油真空機組，達到接近600立方米/小時（150升/秒）的抽速，實現大抽速、清潔無油的目標，就能夠很好的滿足半 導體行業鍍膜生產線的要求。

5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵

由于真空泵有選擇性抽氣，因而有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。比如分子泵需要前級粗抽泵啟動，與無油渦旋真空泵組合起來，便會使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無油的真空環境。

如果被抽真空室要求清潔無油時，應該選各種無油真空泵，如：無油渦旋真空泵、螺桿泵、水環泵、濺射離子泵、低溫泵以及分子篩吸附泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等。

另外還應當考慮被抽氣體的種類，氣體中有無可凝蒸氣、有無顆?；覊m、有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

6.考慮真空泵對周圍環境的影響

如果工作場所周圍環境不允許有污染，如潔凈室等，就要選擇無油真空泵，如無油渦旋真空泵等。

7.考慮真空泵工作時產生的噪音與振動對工藝過程及環境的影響

若工藝過程不允許噪音與振動，如分析測試儀器，就應選擇噪音低、無振動的真空泵或者采取隔離罩、軟連接等減噪、防振措施。