英福康射頻傳感技術：為半導體制造保駕護航，助力高效生產(chǎn)！

隨著半導體器件特征尺寸的不斷縮小，等離子體工藝中的電弧放電問題日益突出。微小的電弧不僅可能損壞設備，還會導致產(chǎn)品缺

陷，甚至造成生產(chǎn)中斷。如何實時監(jiān)測等離子體狀態(tài)和晶圓蝕刻程度，快速檢測電弧并優(yōu)化工藝，成為半導體制造中的一大挑戰(zhàn)。

英福康射頻傳感技術提供了強大的解決方案：Sion?射頻探測器，提供連續(xù)反饋，確保精準的端點檢測，避免過度蝕刻和材料浪

費；ADC100電弧檢測器，擁有超卓的電弧檢測技術，在維護生產(chǎn)效率的同時保護設備；協(xié)力幫助客戶提升生產(chǎn)效率、減少停機時間，并確保產(chǎn)品質量。

Sion?：等離子體工藝的“實時衛(wèi)士”

Sion?是一款非侵入式射頻探測器，專為高速電弧檢測和工藝終點控制設計。它適用于多種等離子體輔助工藝，如電離物理 氣相沉

積 (iPVD)、等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻工藝，能夠實時檢測電弧工藝，確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

Sion?的核心優(yōu)勢在于：

實時電弧檢測：以高達250 kHz的數(shù)據(jù)采集頻率，快速捕捉微電弧事件，防止對靶材、腔室和基材造成損害。

非侵入式安裝：采用卡箍式設計，可輕松集成到現(xiàn)有工具箱中。

智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無縫集成，提供很全的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。

ADC100：直流電弧的“高速捕手”

ADC100同樣是一款非侵入式的高速直流電弧檢測設備，通過連接DC供電系統(tǒng)，可實時監(jiān)測等離子體中的電弧事件，并在出現(xiàn)問題

時迅速中斷晶圓生產(chǎn)過程，防止硬件或產(chǎn)品損壞。

ADC100的亮點功能包括：

高速響應：每個通道的數(shù)據(jù)采集頻率高達250 kHz，確保對電弧事件的快速檢測和響應；其內配置的預定義分析工具也能確保檢測效率。

終點檢測功能：不僅能夠檢測電弧，還能優(yōu)化工藝終點控制，減少過度蝕刻和材料浪費。

全球技術支持：英福康提供全球范圍的技術支持，確保ADC100在不同地區(qū)的應用中都能發(fā)揮非常好性能。

智能數(shù)據(jù)分析：與FabGuard數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)無縫集成，提供很全的數(shù)據(jù)管理和分析功能，幫助優(yōu)化工藝參數(shù)。 如果您正在尋找一種能

夠提升生產(chǎn)效率、減少停機時間并確保產(chǎn)品質量的半導體等離子體工藝監(jiān)測解決方案，英福康的射頻傳感技術將是您的理想選擇。