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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：INFICON
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

對(duì)于測(cè)量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用，Trigon? 系列包括雙技術(shù) BPG552 真空計(jì)。BPG552 由一個(gè) Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個(gè)經(jīng)典、堅(jiān)固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了**的精度、可重復(fù)性和使用壽命。

詳情介紹：

優(yōu)勢(shì)
1，雙測(cè)量儀（2 個(gè)傳感元件），測(cè)量范圍寬，降低成本，節(jié)省空間
2，用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3，皮拉尼互鎖保護(hù)，避免燈絲過早燒毀
4，自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
5，電隔離電子元件，避免雜散電流
6，滑動(dòng)排放模式，避免切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7，可移動(dòng)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時(shí)間
8，設(shè)定點(diǎn)繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制超高真空范圍

測(cè)量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

準(zhǔn)確性 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 讀數(shù)的 ±15
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar 讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性讀數(shù)的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

杭公網(wǎng)安備 33010502004916號(hào)

產(chǎn)品名稱：BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)