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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
MAGiNTEGRA可靠耐用，能夠承受工藝中產(chǎn)生的顆粒和沉積物。它可以承受生產(chǎn)過程中引起的大氣流沖擊，可以在任意位置以任意角度安裝。整體外形對稱設(shè)計，與變頻器合為一體，且變頻器的安裝位置靈活，節(jié)約了安裝空間。由于使用了五軸定位磁懸浮軸承，TURBOVACMAGiNTEGRA幾乎免維護，同時無碳氫化合物污染的風(fēng)險，極其適合脂潤滑機械軸承分子泵不適用的對碳氫化合物污染有嚴格要求的真空應(yīng)用。MAGiNTEGRA的另一個顯著優(yōu)點是在運行時產(chǎn)生的振動極小，這對于某些應(yīng)用是非常重要的。
詳情介紹：
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新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG 2800C／CT，MAG 3200C／CT
抽速：1500l／s～3200l／s
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
●轉(zhuǎn)子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長期運行溫度可高達120℃。
●轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶磚利技術(shù)的 KAPLAR 涂層
●較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；
●降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運行溫度，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
●葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
●保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（＞600次），無需更換保護軸承。
●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強度高，充分保障安 全。
●智能化電源，無需UPS。
●帶拖動級，前級耐壓在2mbar以上。
●分子泵運行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
●超先進的數(shù)字控制技術(shù)
●運行速度、溫度可設(shè)置；
●運行數(shù)據(jù)記錄存儲，提供多達180條運行信息；
●磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數(shù)字化控制，信號處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時間短
●轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動平衡變化時，磁場補償反應(yīng)時間短；
●在氣流長時間（2分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發(fā)熱量過大時，泵速會快速自動調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
●控制器與泵無識別性，可互換。
●免維護。
典型應(yīng)用：
適用于
●所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
●科研領(lǐng)域
●鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG1000。
TURBOVAC (T) 350-450 i采用革新的模塊化設(shè)計理念，可以根據(jù)對壓強和氣載量的要求來優(yōu)化產(chǎn)品性能，極大限度地滿足客戶的需求。
詳情咨詢，索取產(chǎn)品資料請致電公司！ |
