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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:加熱式100~200℃ 電容膜片真空計

    • 產(chǎn)品型號:CDG100D,CDG160D,CDG200D
    • 產(chǎn)品廠商:INFICON
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    SKY CDG100D壓力計是實現(xiàn)精準(zhǔn)總壓測量與控制的理想之選。CDG100D真空計溫度控制在100 °C,具有超卓的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。
    詳情介紹:

    SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

    另有160度,200度可選:

    SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

    SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴


    INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現(xiàn)精準(zhǔn)總壓測量與控制的理想之選。CDG100D真空計溫度控制在 100 °C,具有超卓的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 100 毫托至1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON CDG 品質(zhì)超卓,非常具有成本效益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。


    益處

    • 擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
    • 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點
    • 輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移
    • 診斷端口用于快速維修和維護
    • 兩年保修服務(wù),先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
    • 超卓的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是苛刻的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
    • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn): CE、EN、UL、SEMI、RoHS

    典型應(yīng)用

    • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
    • 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
    • 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

    新聞

    配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用!

    杭公網(wǎng)安備 33010502004916號

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